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紫外臭氧清洗机

    紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。
  1. 详细信息

CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调并可选加热控温,以便达到最佳清洗效果。

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产品特点

可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制

数字倒计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间

任何时间可以手动中断处理过程

自动记录之前清洗参数设置

样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃控温精度0.1℃

上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便

样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,位置可锁定

UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时

高强度UV灯源波长185nm和254nm

UV反射罩(长X宽)UV格栅灯大2.5cm比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm

双重安全保护当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示

带进&出气口双气路设计可接入氧气,增加臭氧产量

可选臭氧中和器,用于臭氧清除。

可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔

技术参数

产品型号

UV灯尺寸cm

样品台高度cm

主机重量kg

外型尺寸(LxWxH)cm

UVO5/UVO5P/UVO5T

13x13

10cm内可调

6

31x26x20

UVO9/UVO9P/UVO9T

23x23

10cm内可调

12.5

60x50x20

 

注:UVO型基础型样品台不带加热功能,样品台高度不可调UVOP可选样品台加热功能,样品台高度可调UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调


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