产品简介

BASIXX SB20 +是一款台式半自动匀胶机系统，功能强大，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。

产品特色

÷ 落地台式机，结构紧凑，所有单元集成在一台设备中，集成度高。

÷ 手动装载/卸载

÷ 衬底最大可达Ø200mm(Ø8 inch)或150x150mm (6x6inch)

÷ 软件提供用户友好的操作

÷ 直驱旋涂电机

÷ 全轴电机驱动且完全可编程

÷ 带安全中断传感器的透明盖

÷ 外壳上有电源开关ON/OFF

÷ 工艺腔和可更换防溅环，易于拆卸以进行清洁。

÷ 系统材料为PP材质，耐所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 

÷ 包括 0.5 升废液瓶

 技术数据

÷ 衬底尺寸: 最大可达Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 电机转速: 最大10.000rpm,步长1rpm

÷ 电机加速: 最大4.000rpm/s

÷ 步进时间: 1 至999.9s，步长为0.1s

÷ 工艺腔材质: 由天然PP制成

÷ 系统架构材质: 由白色PP制成

÷ 液体线路：

3线: 2 x 24 V /最大1 Amp (每条)/触发点 0.1秒-∞

5线: 6 x 24 V /最大1 Amp (每条)/触发点 0.1秒-∞

选项 

÷  自动液体输送臂    ÷  液体罐             ÷  防溅环

÷  废液池             ÷  DI水冲洗        ÷  N2吹扫

÷  热板               ÷  不同类型的夹具     ÷  中心定位模块