手动晶圆烘焙热板系统

    UNIXX HTp20型热板是一款手动桌面型烘焙系统,采用手动PID控制器和定时器开关可确保高的温度控制精度。用于晶圆的单面烘烤,可用于预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。

    更新时间:2022-11-24 16:55:31
  1. 详细信息

产品简介

UNIXX HTp20型热板是一款手动桌面型烘焙系统,采用手动PID控制器和定时器开关可确保高的温度控制精度。用于晶圆的单面烘烤,可用于预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。

产品特色

÷ 加热板模块(最高可达 300°C

÷ 气动驱动支撑pin升降

÷ 支撑pin材料:不锈钢,尖端采用 PEEK (最高 250°C

÷ 热板通过真空固定晶圆

÷ 集成排烟装置

÷ 热板盖手动控制

÷ 集成1x PID 控制器,用于在高测量时进行温度控制

÷ 集成1x 定时器开关

技术数据

÷ 衬底尺寸最大可达 Ø200 mm (Ø 8”)  200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 温度区间最大可达 300°C*,  1°C 步进可调

÷ 温度精度: 100°C  < ±1°C

÷ 提升销(一套): Ø50 mm (Ø2”) 最大可达 Ø200 mm(Ø8”)  200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 热板表面由硬质阳极氧化铝制成

÷ 加热板盖由微抛光不锈钢制成

÷ 控制器单元: 1x PID控制器, 1x 时间开关

÷ Pin顶部 采用PEEK 材料最高温度 250°C

可选项

÷ 支撑pin材料

÷ 边缘支撑pin

÷ N2吹扫

÷ HMDS 热板系统(六甲基二硅胺底胶蒸汽涂覆)

÷ 烘焙距离可调模组

÷ 真空泵

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