CIF透射电镜样品杆清洗机

    CIF 透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用远程离子清洗源 设计,清洗快速高效, 低轰击损伤, 同时可实现常规等离子清洗。 主要用于 TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。

    更新时间:2024-03-18 15:39:14
  1. 详细信息

产品特点

◆  远程离子清洗源

一机多用

清洗快速高效,低轰击损伤

技术参数

 

产品型号

CIF-TEM

等离子电源

13.56MHz 等离子射频电源,射频功率 5-150W 可调

远程等离子源,自动匹配器

清洗室

清洗室尺寸 Ø180xH100mm

清洗数量

可同时清洗 3 支 TEM 样品杆

适配品牌

美国 THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本电子(JEOL)

气体控制

标配单路质量流量计(MFC)可选双路。0-500sccm/ 分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

皮拉尼真空计,测量范围 1.0E-5Pa~1E+5Pa

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7 寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

 

 

 

真空泵

前级泵

抽气速率 2.5 m³/h

分子泵

极限真空:LF<8*10-6Pa,CF<8*10-7Pa

分子泵抽速 85L/s(N2

入口法兰:DN63 ISO-K(LF)/ CF

质量保证

二年质保,终身维护

    

AC220V、50/60Hz300W

产品尺寸

L565xW505xH560mm

包装尺寸

L715xW655xH820mm

整机重量

68kg