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等离子清洗机原理
等离子体是物质的第四态,本质上是离子化的气体。它由自由移动的电子、正离子及未电离的中性粒子(原子或分子)混合组成,宏观上呈电中性,内部富含高活性的自由基、激发态粒子与光子,能量很高。


等离子清洗机正是利用此特性工作:通过射频电源激发工艺气体,使其电离产生低温等离子体。这些高活性粒子随后轰击材料表面,通过物理溅射与化学反应,有效清除污染物或改变表面性质,从而实现清洁、活化、改性等目的。

应用领域:

产品特点:
u 智能交互界面:配备7寸彩色触摸屏,支持中英文双语操作,可实时监测与自动调节工艺参数,内置20组配方程序,工艺数据可存储、可追溯。
u 可靠控制系统:采用PLC全程控制,支持手动与自动两种工作模式,确保清洗过程稳定可靠。
u 双向智能真空控制:系统可通过调节气体流量或腔体压力两种模式精准控制真空压力,工艺调控更灵活、更智能,满足多样化的精密处理需求。
u 精准气体管理:搭载气体浮子流量计或质量流量计,支持氧气、氩气、氮气、氢气及混合气体等多种气源,控制精度高。
u 洁净防污设计:具备气体返填吹扫功能,配备HEPA高效过滤器,有效防止二次污染。
u 优质材质结构:真空舱体可选316不锈钢或石英材质,全真空管路系统均为316不锈钢,耐腐蚀、无污染。
u 人性化操作设计:操作面板采用60°倾角设计,符合人体工学,界面友好、操作便捷;上控制下舱体结构紧凑,节省空间;前面板内凹设计,保护流量计与舱门不易受损。
u 高效稳定工艺:处理过程快速、均匀,重复性好,无污染;样品处理温度低,避免热损伤与热氧化。
u 周全安全保护:舱门开启即自动断电,并配备可控泄压等多重防护机制,保障操作与样品安全。
2025-12-26
2024-07-26
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