CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列

    CIF推出全新一代 CPC-10系列实验室型等离子体清洗设备, 颠覆传统等离子体清洗设备设计理念。具有较大的腔体尺寸和有效样 品处理面积, 使用成本低, 性价比高, 处理快速高效, 特别适合于大学, 科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。

    更新时间:2024-03-26 16:17:31
  1. 详细信息

产品特点:

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。

◆  PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

◆  石英真空舱,真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

◆  采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。

◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

◆  60 度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。

◆  顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。

◆  采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆  上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。

◆  有效清洗面积大,可清洗最大直径 8 吋硅片。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。


技术参数:

 

型号

CPC-10

CPC-10plus

CPC-10M

CPC-10Mplus

射频电源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射频功率

0-600W

0-300W

0-600W

0-300W

匹配器

自动匹配

自动匹配

激发方式

电容式

电容式

气体控制

双浮子流量计

单路 MFC(可选两路)

舱体尺寸

L300xΦ215mm

L300xΦ215mm

舱体容积

10.8L

10.8L

舱体材质

不锈钢

不锈钢

有效处理尺寸

L300xW215mm

L300xW215mm

时间设定

9999 秒

9999 秒

真空泵

抽速 8m³/h

抽速 8m³/h

气体稳定时间

1 分钟

1 分钟

真空度

100pa 以内

100pa 以内

   

AC220V 50/60Hz  766/466W

AC220V 50/60Hz  752/452W

产品尺寸

L645xW550xH495mm

L645xW550xH495mm

包装尺寸

L750xW700xH720mm

L750xW700xH720mm

整机重量

55kg

55kg