立式半自动晶圆烤胶系统

1. 生产厂家：德国Osiris
2. 产品型号：UNIXX He45

● UNIXX He45型热板是一款立式半自动烘焙系统，用于晶圆的单面烘烤，可用于预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake坚膜...

更新时间：2022-11-24

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台式匀胶机

1. 生产厂家：德国Osiris
2. 产品型号：BASIXX SB20+

● BASIXX SB20 +是一款台式半自动匀胶机系统，功能强大，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。...

更新时间：2022-11-24

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桌面型匀胶机

1. 生产厂家：德国Osiris
2. 产品型号：BASIXX ST20+

● BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统，性价比高，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品最大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。...

更新时间：2022-11-24

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台式半自动匀胶烤胶系统（含热板）

1. 生产厂家：德国Osiris
2. 产品型号：BASIXX SH22

● BASIXX SH22是一款台式半自动匀胶机热板复合系统，功能强大，具有匀胶、清洗、显影、干燥、预烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底胶涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(h...

更新时间：2022-11-24

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半自动旋涂仪

1. 生产厂家：德国Osiris
2. 产品型号：UNIXX SA20/30

● UNIXX SA20/30半自动旋涂仪可提供出色的涂层均匀性和可重复性，特别是适用于薄涂层的旋涂，支持最大 Ø200 (Ø300) mm 的晶圆或者230mm*230mm的方片，并可配置用于旋涂、边缘...

更新时间：2022-11-24

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半自动旋涂系统（带CCP）

1. 生产厂家：德国Osiris
2. 产品型号：UNIXX SA20+/30+

● UNIXX SA20+/30+是一款带有 CCP（Covered Chuck Processor）模组的封闭式旋涂仪， 封闭式设计消除了旋涂区域中的所有湍流，用于厚的、负性抗蚀剂、聚合物、BCB 凸块...

更新时间：2022-11-24

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