400-6505-735
产品参数
产品详情
产品特点
u 精准驱动：搭载闭环控制伺服电机，搭配数字式增速信号反馈，转速均匀精准，稳定可靠，从源头保障匀胶一致性。
u 智能操控：配备7 寸全彩中英文触摸屏，支持智能可编程操控，标配 20 组程序，单程序最多 10 个匀胶梯度，大可扩展至 100 个梯度，轻松满足复杂工艺。
u 高效旋涂：内置水平校准装置，大幅提升旋涂均匀度，兼容多尺寸基片。真空 / 非真空双模式卡盘，一机两用，灵活适配不同样品。
u 多重防护：托盘采用三重密封结构，强效防进胶，保护核心电机，延长设备寿命。
u 防腐耐蚀：机身不锈钢喷塑、腔体 PTFE 材质、托盘选用聚丙烯（NPP H），耐酸碱、防腐蚀，适配严苛工况.
u 环保洁净：集成废胶收集系统，减少污染残留，保持作业环境洁净。
u 灵活拓展：支持选配氮气吹扫 / 保护、自动 / 简易滴胶装置，拓展性强。
u 广泛适用：兼容硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等多种基材，应用范围广阔。
2025-12-26 
2024-07-26 
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