CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列

所属分类：等离子清洗机

表面改性

等离子清洗机紫外臭氧清洗机

表面去胶

等离子去胶机

表面刻蚀

等离子刻蚀机

表面涂层

旋涂机烤胶机溅射镀膜机闪蒸成膜仪

产品参数

CIF推出全新一代 CPC-10系列实验室型等离子体清洗设备，改变传统等离子体清洗设备设计理念。具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积，使用成本低，性价比高，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。

产品详情

产品特点

u7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据。

uPLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

u采用质量流量计，气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。

u采用多孔道进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

uHEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

u316不锈钢真空舱，洁净无污染。

u全真空管路系统采用316不锈钢材质。

u处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。

u合理的结构设计，设备占用空间小。

u可处理各种材质、形状、尺寸样品。

u样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

u使用成本低、耗损小。

u产品性能稳定，安装维护，简单方便。

u安全保护，舱门打开，自动关闭电源。

u机器运行、停止提示。