产品参数
产品详情
产品特点:
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆ 石英真空舱,真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆ 采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
◆ HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆ 60 度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
◆ 顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。
◆ 采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
◆ 上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。
◆ 有效清洗面积大,可清洗最大直径 8 吋硅片。
◆ 安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
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