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CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列

产品参数

CIF推出全新一代 CPC-10系列实验室型等离子体清洗设备, 改变传统等离子体清洗设备设计理念。具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积, 使用成本低, 性价比高, 处理快速高效, 特别适合于大学, 科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
属性
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详情
CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列
CPC-10/10plus
生产厂家
150次
2024-03-26

产品详情

产品特点:

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。

◆  PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

◆  石英真空舱,真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。

◆  采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。

◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

◆  60 度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。

◆  顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。

◆  采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆  上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。

◆  有效清洗面积大,可清洗最大直径 8 吋硅片。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。

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