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技术原理
微波等离子技术是用微波电磁场激发气体电离，形成低温，高密度等离子体的技术。
应用领域：
u 半导体封装：芯片焊盘清洗、引线框架处理
u 光学器件：透镜、光纤表面清洁与活化
u 医疗植入物：器械、人工关节表面处理
u 汽车电子：传感器、键合表面预处理
u 科研实验：材料表面改性、纳米涂层前处理
产品特点：
u 智能交互界面：7寸彩色触摸屏，中英文双语操作，实时监测与自动调节工艺参数，内置20组配方程序，支持工艺数据存储与追溯。
u 可靠控制系统：PLC全程控制，支持手动/自动双模式，清洗过程稳定可靠，重复性优异。
u 双向智能真空控制：支持气体流量或腔体压力两种模式精准调控真空度，工艺调控灵活，适应多样化精密处理需求。
u 精准气体管理：标配双质量流量计（MFC），支持氧气、氩气、氮气、氢气及混合气体等多种气源，控制精度高，工艺一致性优。
u 洁净防污设计：配备HEPA高效过滤器，气体返填吹扫功能，避免交叉污染。
u 优质材质结构：真空舱体采用316不锈钢或石英材质，全真空管路为316不锈钢，耐腐蚀、无污染。
u 人性化操作设计：符合人体工能学操作面板，上控制下舱体结构，节省空间。
u 高效稳定工艺：处理快速均匀，重复性好，样品处理温度低，避免热损伤与热氧化。
u 周全安全保护：舱门开启自动断电，可控泄压等多重防护机制，保障操作人员与样品安全。
2025-12-26 
2024-07-26 
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