CIF实验室型等离子清洗机CPC-F系列

所属分类：等离子清洗机

表面改性

等离子清洗机紫外臭氧清洗机

表面去胶

等离子去胶机

表面刻蚀

等离子刻蚀机

表面涂层

旋涂机烤胶机溅射镀膜机闪蒸成膜仪

产品参数

CIF 推出的新一代科研型等离子清洗设备，合理的结构设计，优化的腔体尺寸，使得处理样品更大，适用范围更广。产品性能稳定，操作简单方便，易维护。

产品详情

CIF推出的新一代科研型等离子清洗设备，合理的结构设计，优化的腔体尺寸，使得处理样品更大，适用范围更广。产品性能稳定，操作简单方便，易维护。

等离子清洗机原理

等离子体是一种中性、高能量、离子化的气体。其中包括中性原子或分子、电子、活性基因、激发态的核素、光子等。等离子体是不同于固体、液体和气体的物质第四态，它由离子、电子以及未电离的中性粒子的集合组成，整体呈中性的物质状态。

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等离子清洗机就是在真空腔体里，通过射频电源在压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗材料表面，改变材料表面性质，优化材料表面性能，从而实现清洁、改性等目的。

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应用领域：

等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。

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产品特点

u7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。

uPLC控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

u采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制精准。

u气体返填吹扫，HEPA高效过滤，防止二次污染。

u316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

u采用60度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。

u上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。

u内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。

u处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。

u样品处理温度低，无热损伤和热氧化。

u安全保护，舱门打开，自动关闭电源。