产品参数
产品详情
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 工控机控制整个去胶过程,手动、自动两种工作模式。
◆ 石英真空舱,全真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆ 可选用石英舟,更适合晶元硅片去胶应用。
◆ 采用花洒式多孔道进气方式,改变单孔进气不均匀问题。
◆ 采用防腐数字流量计,实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统,气体分配均匀。 可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体。
◆ HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆ 处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
◆ 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
◆ 安全保护,舱门打开,自动关闭电源,机器运行、停止提示。
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