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产品特点
u 智能交互界面：配备7英寸彩色触摸屏，支持中/英文双语操作；实时监测并自动调节工艺参数，操作直观便捷；内置20组配方程序，工艺数据可存储、可追溯，便于质量管理与工艺复现。
u 可靠智能控制：采用PLC全程控制系统，支持手动/自动双工作模式；清洗过程全程稳定可控，重复性优异。
u 双向智能真空控制：支持通过调节气体流量或腔体压力两种模式精准控制真空压力；工艺调控更加灵活智能，适应多样化的精密处理需求。
u 精准气体管理系统：搭载高精度气体质量流量计；支持氧气、氩气、氮气、氢气及混合气体等多种气源，控制精度高，重复性好。
u 洁净防污设计：具备气体返填吹扫功能，有效清除残留污染物；配备HEPA高效过滤器，防止二次污染，确保处理环境洁净。
u 优质耐腐蚀结构：真空舱体可选316不锈钢，适应不同工艺需求；真空管路系统采用316不锈钢，耐腐蚀、无污染、长寿命。
u 高效稳定工艺性能：处理过程快速、均匀，重复性优良；样品处理温度低，有效避免热损伤与热氧化，保护样品完整性。
u 周全安全保护机制：舱门开启自动断电，保障操作人员安全；配备可控泄压阀等多重安全防护，确保设备与样品安全。
2025-12-26 
2024-07-26 
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