产品参数
产品详情
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆ 真空舱体、全真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆ 采用防腐数字流量计, 实现对气体输入精准控制。标配双路气体输送系统, 可选多气路气体输送系统, 可输入氧气、氩气、 氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。
◆ 采用花洒式多孔进气方式,改变单孔进气不均匀问题。
◆ HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆ 符合人体功能学的 60 度倾角操作界面设计,操作方便,界面友好。
◆ 采用顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式。
◆ 上置式 360 度水平取放样品设计,符合人体功能学,操作更方便。
◆ 有效处理面积大,可处理最大直径 154mm 晶元硅片。
◆ 安全保护,舱门打开,自动关闭电源,机器运行、停止提示。
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