产品参数
产品详情
产品特点:
u 智能触控,数据可视:7英寸彩色触摸屏,支持中英文界面,实时监测并调控工艺参数;可存储4组配方程序,数据全程可追溯,确保工艺标准化与重复性。
u 灵活操控,双模式适配:PLC控制系统,支持手动/自动切换,适应多样应用场景,操作更自由。
u 精准稳压,广泛兼容:采用皮拉尼真空计实现高精度测控,智能维持恒定真空环境。
u 均匀镀膜,一致性高:样品台可旋转(0–50rpm可调)并具备高度调节功能(15–50mm),显著提升膜层均匀性与一致性,适配多种靶材。
u 人性化设计,操作舒适:60°倾角操作面板,符合人机工程学,界面清晰简洁,操作流畅便捷。
u 低温处理,样品无损:镀膜过程中样品温度维持在40–50℃,有效避免热损伤与热氧化,保留样品本征特性。
u 洁净防护,避免污染:配备气体返填吹扫与HEPA高效过滤系统,防止污染物残留,确保镀膜环境洁净可靠。
u 多重安全保障:舱门开启自动断电,内置多项安全保护机制,使用更安心。
2025-12-26
2024-07-26
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