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CIF离子溅射仪是一款专为贵金属及合金材料镀膜研制的较高精度设备,集控制技术与人性化设计于一体,可实现精准、高效且稳定的溅射镀膜工艺。广泛适用于科研实验与精密制造领域,为用户提供高质量、一致性的镀膜效果。
产品特点:
u 智能触控,数据可视:7英寸彩色触摸屏,支持中英文界面,实时监测并调控工艺参数;可存储20组配方程序,数据全程可追溯,确保工艺标准化与重复性。
u 灵活操控,双模式适配: PLC控制系统,支持手动/自动切换,适应多样应用场景,操作更自由。
u 精准控气,工艺兼容性强:气体流量自动调节,内置质量流量计,精准控制气体流量(0-500sccm),支持氧气、氩气、氮气等多种工艺气体,满足多样化镀膜需求。
u 均匀镀膜,一致性高:样品台可旋转(0–50rpm可调)并具备高度调节功能(15–50mm),显著提升膜层均匀性与一致性,适配多种靶材。
u 人性化设计,操作舒适:60°倾角操作面板,符合人机工程学,界面清晰简洁,操作流畅便捷。
u 低温处理,样品无损:镀膜过程中样品温度维持在40–50℃,有效避免热损伤与热氧化,保留样品本征特性。
u 洁净防护,避免污染:配备气体返填吹扫与HEPA高效过滤系统,防止污染物残留,确保镀膜环境洁净可靠。
u 多重安全保障:舱门开启自动断电,内置多项安全保护机制,使用更安心。
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