CIF实验室型等离子清洗机CPC-G系列

    CIF推出全新一代CPC-G系列小型等离子体清洗设备,颠覆传统等离子体清洗设备设计理念,采用顶置真空仓,上开盖下压式铰链开关方式,上置式360度自由取放样品托盘设计,具有较大的腔体尺寸和样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室使用。
  1. 详细信息

  

产品特点

PLC工控机控制整个清洗过程,全自动进行。

7寸彩色触摸屏互动操作界面,实时工作参数状态直观显示。

手动、自动两种工作模式。

数字流量计控制,控制更准确。

符合人体功能学的60度倾角操作界面设计,操作方便,界面友好。

顶置真空仓,上开盖设计下压式铰链开关方式

上置式360度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。

安全保护,仓门打开,自动关闭电源。

技术参数

型号

CPC-G

CPC- G plus

舱体尺寸

H120xΦ270mm  

H120xΦ270mm

舱体容积

6.8L

6.8L

射频电源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

射频功率

10-300W可调

10-150W可调

气体控制

质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)

有效处理尺寸

Φ270mm 圆盘

产品尺寸

L525xW425xH345mm

包装尺寸

L645xW540xH560mm  

时间设定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

AC220V 50-60Hz