CIF紫外臭氧清洗机

    紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比 如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。CIF 推出的紫外臭氧清洗机系列产品采用 长寿命 UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调,可选加热控温,以便达到清洗效果。

    更新时间:2024-06-12 16:46:33
  1. 详细信息

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紫外臭氧清洗机原理:

通过紫外灯发出适当强度的 185nm 和 254nm 波长高能紫外线破坏有物分子 ( 污染物 )。185nm 波长紫外光的光能 量能将空气中的氧气 (O2) 分解成臭氧 (O3),而 254nm 波长的紫外光的光能量能将 O3 分解成 O2 和原子氧 (O),   254 nm 紫外线同时激发表面的有机物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子团破坏。在连续进行的光敏氧化反应中,生成的 活性原子氧 (O) 与活化了的有机物 ( 即碳氢化合物 ) 分子发生氧化反应,生成挥发性气体 ( 如 CO2,CO, H2O,NO 等 ) 逸 出材料表面,从而清除粘附在材料表面上的碳和有机污染物,达到清洗的目的。

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 产品特点

◆  UVO 基础型系列采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。UVOP、UVOT 系列采用 5 寸彩色触摸屏 中英文互动操作界面,设置显示计时时间及加热温度。

  自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。

◆  数字倒计时显示清洗时间,1-999 分钟之间可自行设置清洗时间。

◆  任何时间可以手动中断处理过程。

  自动记录之前清洗参数设置。

◆  样品台可控温(可选),控温范围 RT-200℃,控温精度 0.1℃。

◆  顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。

◆  上置式样品台设计,360 度自由放置样品,操作方便。

◆  样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。

◆  UV 石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为 8000 小时。

◆  高强度 UV 灯源,波长 185nm 和 254nm。

◆  可累计计时 UV 格栅灯使用时长,更换提示。

◆  UV 反射罩(长 X 宽)比 UV 格栅灯大 25mm。

◆  双重安全保护,带有安全锁,当清洗腔打开时,系统自动关掉 UV 灯,并有灯光通断提示。

◆  带进 & 出气口双气路设计。

◆  可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。

◆  UVO5 可选外置臭氧中和器,UVO9、UVO13 系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。

◆  可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。

 技术参数

 

产品型号

UVO5/UVO5P/UVO5T

UVO9/UVO9P/UVO9T

UVO13/UVO13P/UVO13T

UV 灯尺寸

130x130mm

230x230mm

330x330mm

样品台高度

0-50mm 可调

0-50mm 可调

0-50mm 可调

   

AC220V 50/60Hz

140/190/690W

AC220V 50/60Hz

140/190/690W

AC220V 50/60Hz

140/190/1160W

外型尺寸

L260xW320xH200mm

L370xW470xH200mm

L465xW575xH200mm

包装尺寸

L375xW470xH390mm

L490xW600xH320mm

L575xW680xH320mm

整机重量

8kg

15kg

18kg

注: UVO 型基础型样品台不带加热功能,样品台高度可调; UVOP 可选配样品台加热功能,样品台高度可调; UVOT 标配 样品台加热功能,样品台高度可调。可选臭氧中和装置。

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