紫外臭氧清洗机

    紫外臭氧清洗机(UVOzone Cleaner, UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)表面上的有机污染物。
  1. 详细信息

CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调并可选配加热控温功能,以达到z佳清洗效果。

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                                                                           按键式紫外臭氧清洗机

 

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                                                                         触屏式紫外臭氧清洗机

产品特点

UVO基础型采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。

自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。

字倒计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。

可随时手动中断处理过程。

自动记录之前清洗参数设置。

样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃,控温精度0.1℃。

顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。

上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。

样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。

UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。

高强度UV灯源,波长185nm和254nm。

UV反射罩(长x宽)比UV格栅灯大2.5cm,比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。

双重安全保护,当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示。

带进&出气口双气路设计,可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。

UVO5可选外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。

可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。

技术参数

产品型号

UV灯尺寸cm

样品台高度cm

主机重量kg

外型尺寸(LxWxH)cm

UVO5/UVO5P/UVO5T

13x13

5cm内可调

6

31x26x20

UVO9/UVO9P/UVO9T

23x23

5cm内可调

12.5

60x50x20

UVO13/UVO13P/UVO13T

33x33

5cm内可调

18.5

70x60x20

注: UVO基础型样品台不带加热功能,样品台高度可调UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调

UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调


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