CIF生产型等离子清洗机CPC-80/120/150

    CIF推出的CPC系列生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客户而设计的等离子体表面处理设备,配置丰富,且真空腔体里可分层,适合大多数生产场景。适用于等离子清洗,活化以及刻蚀等多种应用,设备可在严苛环境下稳定运行,产品稳定,样品处理重复性一致性好。
  1. 详细信息

产品特点:

PLC工控机控制整个清洗过程,全自动进行。

7寸彩色触摸屏互动操作界面,实时工作参数状态直观显示。

手动、自动两种工作模式。

数字流量计控制,控制更准确标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统,气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。

处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。

合理的结构设计,设备占用空间小。

可处理各种材质、形状、尺寸样品。

样品处理温度热损伤和热氧化

使用成本低、耗损小

产品性能稳定,安装与维护简便方便。

安全保护,仓门打开,自动关闭电源。

技术参数:

型号

CPC-80

CPC-120

CPC-150

舱体尺寸

W400xH400xD500mm

W500xH500xD450mm

W500xH500xD60mm

舱体容积

80L

120L

150L

有效尺寸

W400xD450

W500xxD400mm

W500xxD550mm

电极分布

6层

8-10层

10-15层

射频电源

13.56MHz0-600W 

13.56MHz0-1000

13.56MHz0-1000

匹配器

自动匹配

1.2A

时间设定

1-99分59秒

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

激发方式

电容式

控制系统

7寸PLC触摸屏控制

工艺气体

2气路 MFC(可选装3路)

真空泵

抽速约40m3/h

抽速约60m3/h

抽速约60m3/h

AC380V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz