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CIF中试生产型等离子清洗机CPC15/35/80/120/150

产品参数

CIF 推出的中试生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客 户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富, 且真空腔体里可分层, 适合大多数生产场景清洗,活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下 稳定运行,产品性能稳定,样品处理重复性、一致性好。
属性
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CIF中试生产型等离子清洗机CPC15/35/80/120/150
CPC15/35/80/120/150
生产厂家
158次
2024-03-18

产品详情

产品特点

◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动监测工艺参数状态,20 个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据。

◆  PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。

  采用质量流量计,  气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、 四氟化碳、氢气或混合气体等气体。

◆  采用多孔道进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。

◆  316 不锈钢真空舱,洁净无污染。

◆  全真空管路系统采用 316 不锈钢材质。

◆  处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。

◆  合理的结构设计,设备占用空间小。

◆  可处理各种材质、形状、尺寸样品。

◆  样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

◆  使用成本低、耗损小。

◆  产品性能稳定,安装维护,简单方便。

◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。

◆  机器运行、停止提示。


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