产品参数
产品详情
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动监测工艺参数状态,20 个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据。
◆ PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆ 采用质量流量计, 气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、 四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
◆ 采用多孔道进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
◆ HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆ 316 不锈钢真空舱,洁净无污染。
◆ 全真空管路系统采用 316 不锈钢材质。
◆ 处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
◆ 合理的结构设计,设备占用空间小。
◆ 可处理各种材质、形状、尺寸样品。
◆ 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
◆ 使用成本低、耗损小。
◆ 产品性能稳定,安装维护,简单方便。
◆ 安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
◆ 机器运行、停止提示。
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